從上塔的中部抽取一定量的氬餾份送入粗氬塔，粗氬塔在結構上分為兩段，兩段之間由液氬泵聯接，第二粗氬塔底部的回流液經粗氬泵送入第一粗氬塔頂部作為回流液，經過粗氬塔的精餾，在塔頂獲含氧2PPm的工藝氬，大部分在粗氬塔冷凝器中被冷凝而后作為回流液，另抽出一部分經液化器液化送入精氬塔中部。